Detail publikace

Depozice a in-situ charakterizace ultratenkých vrstev

VOBORNÝ, S. KOLÍBAL, M. MACH, J. ČECHAL, J. BÁBOR, P. PRŮŠA, S. SPOUSTA, J. ŠIKOLA, T.

Český název

Depozice a in-situ charakterizace ultratenkých vrstev

Anglický název

Deposition and in-situ charakterization of ultra-thin films

Typ

článek v časopise - ostatní, Jost

Jazyk

en

Originální abstrakt

Paper deals with the deposition and in-situ charakterization of ultra-thin films

Český abstrakt

Článek se zabývá depozicí a in-situ charakterizace ultratenkých vrstev

Anglický abstrakt

Paper deals with the deposition and in-situ charakterization of ultra-thin films

Klíčová slova česky

Iontový svazek, depozice, XPS

Klíčová slova anglicky

Ion beam, deposition, XPS

Rok RIV

2004

Vydáno

01.01.2004

ISSN

0040-6090

Časopis

Thin Solid Films

Ročník

459

Číslo

1-2

Počet stran

5

BIBTEX


@article{BUT42360,
  author="Stanislav {Voborný} and Miroslav {Kolíbal} and Jindřich {Mach} and Jan {Čechal} and Petr {Bábor} and Stanislav {Průša} and Jiří {Spousta} and Tomáš {Šikola},
  title="Deposition and in-situ charakterization of ultra-thin films",
  journal="Thin Solid Films",
  year="2004",
  volume="459",
  number="1-2",
  month="January",
  issn="0040-6090"
}